Slėgio jutiklių netiesiškumas

Be „temperatūros dreifo“, aukšto tikslumo jutiklis turi ištirti ir ištirti daug daugiau, o netiesiškumas yra vienas iš svarbių našumo rodiklių.

Kodėl jums turėtų rūpėti slėgio jutiklių netiesiškumas? Slėgio jutiklis yra pagrindinis slėgio siųstuvo komponentas. Šiuo metu dažniausiai naudojamasslėgio jutiklisyra pjezorezistinis slėgio jutiklis, o jo išėjimo signalas turi didelį netiesiškumą, o tai tiesiogiai paveiks slėgio siųstuvo našumą ir matavimo tikslumą.

Taigi, koks yra jutiklio netiesiškumas? Iš esmės jutiklio netiesiškumas reiškia, kad keičiantis slėgiui slėgio jutiklio išvestis yra būdinga kreivė. Procentas tarp maksimalaus šios kreivės nuokrypio ir montavimo linijos ir viso masto jutiklio išėjimo vadinamas netiesiškumu. Šio procento dydis lemia jutiklio netiesiškumą. Paprasto ir intuityvaus supratimo metu tai reiškia, kad nukrypimo laipsnis tarp išėjimo charakteristikos kreivės ir tinkamos tiesios linijos yra netiesinis.

Kodėl slėgio jutikliai turi netiesinių problemų? Piezorezistinis slėgio jutiklis, dažniausiai naudojamas tilto matavimo grandinė (Whiston tiltas), kaip parodyta paveikslėlyje žemiau,

Pradinėje būsenoje keturių tiltų ginklų pasipriešinimo vertės išlieka tos pačios. Kai veiksė išorinė jėga, subalansuota tilto rankos varžos būsena bus sulaužyta. Šiuo metu išvesties terminale pasirodys potencialo skirtumas. Santykinis tilto atsparumo tilto rankos pasikeitimas yra tam tikra dalis, o santykinis tilto atsparumo tilto rankos pasikeitimas lemia jutiklio netiesiškumą.

Ir kiekvienas pjezorezistinis slėgio jutiklis priima keletą specialių gamybos procesų procesų, tokių kaip senėjimas, slėgio šokas, suvirinimas ir kt., Kurie turės skirtingą įtaką jutiklio veikimui. Be to, faktiniame difuzinio silicio lusto gamybos procese 4 sunku išlaikyti kiekvienos tilto rankos pasipriešinimo vertę, todėl kiekvienas jutiklis turi nominalų netiesiškumą.

Kadangi netiesiškumas yra toks svarbus, kaip apskaičiuoti netiesinę jutiklio vertę? Visų pirma, leiskite jutikliui slėgio slėgio jutiklį, esantį nurodytoje temperatūros aplinkoje, pridėkite jį nuo nulio iki visos skalės, sumažinkite slėgį po to, kai slėgis yra stabilus ir grįžta į nulį. Tada visame diapazone, įskaitant viršutinę ir apatinę jutiklio matavimo ribas, trys ar daugiau kartų pasirinkite 6–11 bandymo taškų, tolygiai paskirstytų bandymui, ir pakartokite kilimo ir kritimo kalibravimo ciklo bandymą.